여기에서는 반도체 공정 및 계측(계측장비),SPM(STM,AFM,etc) Application 그리고 Cleanroom Monitoring과 관련된 논문 및 자료들을 보실 수 있습니다. 대부분 영문으로 작성되어 있으나, 간혹 한글 자료도 있으므로 꼭 한글용 Acrobat Reader를 이용하시기 바랍니다. 이들 자료들은 대부분 다른 Magazine이나 Site에서 받아 PDF File로 변환한 것입니다.
Wafer
Inspection
Copper Defects
Post _ CMP Defects
Cu _ CMP Defects
E-Beam
Inspection
SPM Application
& Sensor(
STM, AFM, etc )
SPM 이란?
Cleanroom Monitoring