SANYU Electron Co.,Ltd 사에서 판매하는 MEISEI사의 이물 검사장치는 Wafer 뿐만 아니라 Glass(LCD,PDP.OLED,GaAs,Sapphire,,)   등의 투명한 기판(사각형도 적용 가능) 등에도 적용이 가능하며, 표면의 이물을 최소 0.5um Size 부터 Size를 구분하여 측정이 가능한   설비입니다.또한 사용자 분들의 입장에서 만들어진 것으로서 Data 저장등의 기능과 높은 정확도, 재현성을 갖추고도 매우 저렴한  가격에 공급해 드리고 있는 제품입니다.

 Applications : Wafer 이물 검사(Silicon, GaAs, Sapphire, Glass etc,,,)
                    Glass 이물 검사(LCD, PDP, OLED etc,,,)
                    Ceramic Substrate,,,
         



Surface Defect Inspection
SPDY-10

 SPDY - 10  Defect Inspection System
 
 Modes : SPDY-10
 Source : Solid State Laser(708nm)
 측정 방식 : 광산란 방식
 측정 Size : 0.5m, 1um, 2um, 3um, 4um,5um
 측정 대상 : Wafer, Glass, LCD,PDP,OLED,,,
 Display Map : 표리(상/하) 분리 가능
 Maximum Sample Size : 200mm x 200mm ( X,Y)
 Data Analysis : Data 저장, Data 비교, Size 구분, 확대,,,



Surface Defect Inspection
YPI-500 

 YPI - 500  Defect Inspection System
 
 Modes : YPI-500
 Source : Solid State Laser(708nm)
 측정 방식 : 광산란 방식
 측정 Size : 0.5um, 1um, 2um, 3um, 4um,5um
 측정 대상 : Wafer, Glass, LCD,PDP,OLED,,,
 Display Map : 표리(상/하) 분리 가능
 Maximum Sample Size : 400mm x 500mm ( X,Y)
 Data Analysis : Data 저장, Data 비교, Size 구분, 확대,,,